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氧化锆珠在钼铌合金溅射靶材中的利用

日期:2021-01-23    浏览量:载入中...

        将钼粉和铌粉(纯度均为≥99 .95%,粒径分别为25μm和40μm)按照重量比为8 .5:1的比例装入球磨机中,接下来加入硬脂酸、棕榈酸和氧化锆珠(粒径2mm),在氩气维护下进行球磨,所述的球磨年月为110min,球磨换车为1000r/min,过筛,得粒径为8μm钼铌合金复合末子;所述硬脂酸、棕树酸、氧化锆珠的净重分别为钼粉和铌粉总重量的0 .025倍、0 .025倍、13倍;
      将步骤(1)钼铌合金复合齑粉抽真空处理,跟脚进展冷等偏压成型,冷等脉压的上压力为200MPa,保压时间为6min,得到抑止半制品;
      将限于粗制品在真空烧结炉中展开结合成型,结合温度为2000℃,血肉相联工夫6 h,取得靶材毛坯;
      将靶材半制品通过机械加工拿走出品钼铌合金溅射靶材,钼铌合金溅射靶材为单一物相团组织,团体均匀无孔穴,平均结晶体尺寸50μm,密度9 .85g/cm3。
       方式2
      将钼粉和铌粉(纯度均为≥99 .95%,粒径分别为15μm和30μm)照说重量比为9:1的百分数装入球磨机中,接下来加盟硬脂酸、棕榈酸和氧化锆珠(粒径3mm),在氩气卫护下拓展球磨,所述的球磨时日为120min,球磨转车为1000r/min,过筛,得粒径为5μm钼铌合金复合末子;
     所述硬脂酸、棕树酸和氧化锆珠的份量分别为钼粉和铌粉总重量的0 .01倍、0 .01倍、15倍;
     (2)将步调(1)钼铌合金复合碎末抽真空甩卖,跟着进展冷等偏压成型,冷等油压的压力为220MPa,保压流光为8min,收获限于半成品;
     (3)将平抑粗制品在真空烧结炉中进展结成成型,烧结温度为2100℃,构成年月6 h,收获靶材半制品;
      (4)将靶材粗制品通过机械加工赢得产品钼铌合金溅射靶材,钼铌合金溅射靶材为单一物相团体,团组织均匀无孔洞,平均晶粒尺码40μm,密度9 .87g/cm3。

氧化锆珠

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